Stoichiometry in Ti-N barrier layers studied by X-ray emission spectroscopy
作者: Dapor M.Elena M.Girardi S.Giunta G.Guzman L.Narsale A.M.
来源数据库: Elsevier Journal
DOI: 10.1016/0040-6090(87)90191-X
全文获取路径: Elsevier  (合作)
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影响因子:1.604 (2012)

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