Improvement in mechanical properties by ion implantation of SiC films deposited on steel and copper
作者: Guzman L.Tuccio S.Miotello A.Laidani N.Calliari L.Kothari D.C.
来源数据库: Elsevier Journal
DOI: 10.1016/0257-8972(94)90049-3
全文获取路径: Elsevier  (合作)
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来源刊物:
影响因子:1.941 (2012)

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  • properties 道具
  • films 薄膜
  • mechanical 机械的
  • steel 
  • copper 
  • implantation 离子注入