Ni-Au/AlN/Si器件的深能级瞬态谱研究
作者: 王 冲赵 明Eddy SIMOEN李 伟
来源数据库: Academy Publication
DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2019.04.010
关键词: AlN/Si界面C-V深能级瞬态谱点缺陷扩展态缺陷AlN/Si interfaceC-VDLTSPoint defectExtended defect
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